一、产品简介

　　SuperView WX 100白光干涉测头是一款非接触式精密光学测头，其基于白光干涉和精密扫描研制而成，主要由光学干涉系统和Z向扫描系统组成，具有体积小、重量轻、便携的特点，能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上，在产线上对器件表面进行自动化形式的测量，直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。

二、产品功能

1）测量功能：单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量。

2）分析功能：能够获取关于表面质量的粗糙度、微纳级别的轮廓尺寸等2D、3D数据；

3）批量分析：可根据需求参数定制数据处理和分析模板，针对同类型参数数据实现一键批量分析；

4）SDK软件：提供SDK软件和接口文档，便于客户集成到自己的机台或设备中进行控制应用；

5）环境噪声评价：具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能，定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率，为设备调试和故障排查提供定量依据

6）光源安全功能：光源设置无人值守下的自动熄灯功能，当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源，防止光源高亮过热损坏，并有效延长光源使用寿命；

7）镜头安全功能：双重防撞保护，软件ZSTOP防撞保护，设置后即以当前位置为位移下限位，不再下移且伴有报警声；设备配备压力传感器，并在镜头处进行了弹簧结构设计，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状态，大幅减小碰撞冲击力，有效保护镜头和扫描轴，消除人为操作的安全风险。

 四、性能特色

1、便携可搭载 独特悬臂式结构，可方便地搭载在各类龙门架构水平位移平台上，通过软件接口的连接，即可构成一台可自动测量的超高级精度的光学3D表面轮廓仪；

2、复合型扫描算法 结合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范围的双重优点的扩展型相移扫描重建算法，能够适配 从超光滑到粗糙、光滑弧面等所有类型样品，一键扫描，无须切换算法；

3、防撞保护功能 Z向防撞传感器，当镜头碰到样件表面，进入紧急停止状态，不再下移；